螺桿式真空泵主要由螺桿轉子、殼體、齒輪、冷卻循環和密封件構成。傳動軸連接主動轉子，通過高精度的同步齒輪帶動從動轉子旋轉。同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內部通過密封件來密封以達到無油的效果。一對旋向相反.由泵的兩端蓋的軸承支撐旋轉的螺桿，將被抽氣體吸入，通過氣體吸入.壓縮.排氣三個過程，達到抽氣的目的。兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。它是油封式真空泵的替代產品。
螺桿式真空泵分為等螺距和變螺距干式羅桿真空泵，螺桿式真空泵設計緊湊，運行高效，螺桿與軸一體加工。干式螺桿真空泵腔內完全無水無油，直通氣路設計，該系列泵可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內的氣體。
干式螺桿真空泵的典型應用：
• 低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝、半導體刻蝕工藝
• 在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等
• 用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染
• 化學和醫藥流程
• 溶劑回收
• 成型、結晶、干刻、濺鍍、蒸氣回收、空中模擬
干式螺桿真空泵的特點、優點
干式螺桿真空泵可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbara），極限真空可達0.01Torr（0.013mbara）在運轉過程中沒有油或水，泵腔無部分接觸，短氣通道可以使泵迅速排放，直接驅動或V皮帶有加長的轉子，操作安靜----低于85分貝。干式螺桿真空泵腔內完全無水無油，直通氣路設計，該系列泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內的氣體。主要特點：
沒有油或水和過程氣體接觸
運行部件之間無金屬相互接觸
簡單緊固的設計可以處理工作時產生的副產品——液體，冷凝物甚至微小顆粒
節省空間的設計除去了防護裝置的需要
泵內氣通道較短，氣體排放更迅速
即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)
ZT-LG3主要性能參數
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型號
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ZT-40LG3
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ZT-80LG3
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ZT-120LG3
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ZT-180LG3
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ZT-300LG3
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ZT-360LG3
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|||||
|
最大抽氣速率（L/s）
|
40
|
80
|
120
|
180
|
300
|
360
|
|||||
|
極限壓力（mbar）
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
|||||
|
最高排氣壓力（bar）
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
|||||
|
電機功率（kW）
|
4
|
7.5
|
11
|
18.5
|
30
|
37
|
|||||
|
轉速（r/min）
|
2890
|
2900
|
2900
|
2930
|
2900
|
2900
|
|||||
|
吸氣口直徑（mm）
|
DN40
|
DN50
|
DN80
|
DN100
|
DN125
|
DN150
|
|||||
|
排氣口直徑（mm）
|
DN30
|
DN40
|
DN65
|
DN80
|
DN100
|
DN125
|
|||||
|
齒輪腔用油量（L）
|
1.3
|
1.6
|
2.2
|
4
|
10
|
12
|
|||||
|
冷卻水用量（L/h）
|
120
|
210
|
380
|
600
|
820
|
1000
|
|||||
|
冷卻水允許最高壓力（MPa）
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
|||||
|
冷卻氣體量（m3/h）
|
18
|
25
|
28
|
30
|
36
|
40
|
|||||
|
吸氣端密封類型
|
骨架油封
|
||||||||||
|
排氣端密封類型
|
骨架油封
|
||||||||||
|
軸伸處密封類型
|
骨架油封
|
||||||||||
|
噪聲（dB）
|
82
|
85
|
85
|
85
|
85
|
85
|
|||||
|
重量（kg）
|
230
|
322
|
395
|
550
|
860
|
1080
|
|||||
|
型號
|
ZT-40LG4
|
ZT-80LG4
|
ZT-120LG4
|
ZT-180LG4
|
ZT-300LG4
|
ZT-360LG4
|
|||||
|
最大抽氣速率（L/s）
|
40
|
80
|
120
|
180
|
300
|
360
|
|||||
|
極限壓力（mbar）
|
0.1
|
0.1
|
0.1
|
0.1
|
0.1
|
0.1
|
|||||
|
最高排氣壓力（bar）
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
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|
電機功率（kW）
|
4
|
7.5
|
11
|
18.5
|
30
|
37
|
|||||
|
轉速（r/min）
|
2890
|
2900
|
2900
|
2930
|
2900
|
2900
|
|||||
|
吸氣口直徑（mm）
|
DN40
|
DN50
|
DN80
|
DN100
|
DN125
|
DN150
|
|||||
|
排氣口直徑（mm）
|
DN30
|
DN40
|
DN65
|
DN80
|
DN100
|
DN125
|
|||||
|
齒輪腔用油量（L）
|
1.3
|
1.6
|
2.2
|
4
|
10
|
12
|
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|
冷卻水用量（L/h）
|
120
|
210
|
380
|
600
|
820
|
1000
|
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|
冷卻水允許最高壓力（MPa）
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
|||||
|
冷卻氣體量（m3/h）
|
18
|
25
|
28
|
30
|
36
|
40
|
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|
吸氣端密封類型
|
骨架油封
|
||||||||||
|
排氣端密封類型
|
骨架油封
|
||||||||||
|
軸伸處密封類型
|
骨架油封
|
||||||||||
|
噪聲（dB）
|
82
|
85
|
85
|
85
|
85
|
85
|
|||||
|
重量（kg）
|
230
|
322
|
395
|
550
|
860
|
1080
|
|||||
魯公網安備 37030202000927號